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洁净室气密测试进行检测的步骤描述

洁净室气密测试进行检测的步骤描述

日期:2019-11-03 21:29
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摘要:
洁净室气密测试进行检测的步骤:

    1.将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定,记录压力衰减测试过程中室内温度的变化(温度计或温度传感器的*小示值不宜大于0.1℃)。 

    2.关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等,关闭回风管(或排风管)上的气密阀门,不得在风口上加其他密封措施,并维持各种孔洞缝隙的密封现状。

    3.开启送风,使室内压力上升至已商定的测试压力(压力计量程至少为测试压力的1.5倍,*小示值不宜大于10Pa),压力稳定后,停止送风,关闭送风阀门。

    4.或反之关闭送风管上的阀门,如果送风管上无阀或阀不严,应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口,开启排风,使室内压力下降至已商定的测试压力,压力稳定后,停止排风,关闭排风气密阀门。

    5.从停上送(排)风起,记录压力随时间衰减的数据,每1min记录1次压差和温度,连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止。

    6.测试结束后慢慢打开风阀,使房间压力恢复到正常状态。

    7.如果需要进行重复测试,20min后进行。

    8.当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵。

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